Speaker
Dr
Mostafa Salahshoor
(ACECR - Sharif University Branch)
Description
In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. The magnetic field distribution due to magnetic components of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif university branch of ACECR), has been simulated by means of a finite element software, “ANSYS”. The simulation result was verified with measurement by Hall Effect sensor. Furthermore, by using the ray-tracing capability of the software, the strength of magnetic lens of this device for electron beam focusing has been investigated. The predicted position of the electron beam spot on the target is in good agreement with experimental observations.
چکیده به فارسی
در این مقاله، ابتدا لایه نشانی در خلأ با استفاده از منبع تبخیر پرتو الکترونی بررسی و نقش میدان مغناطیسی در عملکرد آن تبیین شده است. پس از آن، توزیع میدان مغناطیسی ناشی از پیکربندی اجزای مغناطیسی یک نمونه منبع تبخیر تجاری با تفنگ پرتو الکترونی با چرخش 270 درجه (ساخت سازمان جهاددانشگاهی صنعتی شریف)، به وسیله نرم افزار المان محدود ANSYS شبیه سازی شده است. صحت نتایج شبیه سازی از طریق مقایسه با نتیجه اندازه گیری میدان مغناطیسی توسط پروب اثر هال ارزیابی گردید. علاوه بر این، با استفاده از قابلیت نرم افزار برای ردیابی پرتو، قدرت عدسی مغناطیسی این سامانه برای تمرکز پرتو الکترونی مورد بررسی قرار گرفت. مکان پیش بینی شده برای پرتو در محل هدف، تطابق بسیار خوبی با مشاهدات تجربی دارد.
| عنوان مقاله به فارسی | تمرکز پرتو الکترونی در میدان مغناطیسی یک منبع تبخیر پرتو الکترونی خمیده |
|---|
Author
Dr
Mostafa Salahshoor
(ACECR - Sharif University Branch)
Co-authors
Mr
Ali Asghar Zavarian
(ACECR - Sharif University Branch)
Mrs
Fatemeh Hafezi
(ACECR - Sharif University Branch)
Peer reviewing
Paper
Paper files:
